主要特點：

  排氣路徑短，減少反應物沉積

干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內(nèi)的傳輸路徑短，不易產(chǎn)生反應物沉積的現(xiàn)象。

  線形密封性佳，泵浦性能優(yōu)

轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的咽合間隙達到更快的抽氣效果，由于咽合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。

高壓段抽速快,運轉(zhuǎn)功率低,噪音低。

可依制程/環(huán)境需求選用水冷(防爆)或氣冷(防爆)馬達。氣冷馬達機型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng),能使用在無冷卻水系統(tǒng)的環(huán)境。

  結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，維修容易

螺旋式真空泵因只需利用一對轉(zhuǎn)子互相咽合達到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風險。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。

  微電腦操作，遠端監(jiān)控，保護周全

微電腦操控器提供真空泵浦簡易的操作方式并能顯示泵浦完整的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對泵浦應用狀況進行調(diào)整，在泵浦產(chǎn)生問題前進行預防保養(yǎng),遠端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場即能查詢泵浦之運轉(zhuǎn)狀況。