HANBELL漢鐘PS1802真空泵維修

漢鐘PS干式無油真空泵機(jī)組，廣泛應(yīng)用于

  ·面板TFT-LCD,Touch Panel

  ·太陽能Solar

  ·冶金系統(tǒng)Metallurgical System

  ·鍍膜Coating

  ·電漿制程Plasma processes

  ·干燥處理Drying Process

  ·制程氣體抽取Degassing

  ·生技/制藥Biotech/Pharmaceutical

  ·化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry

主要特點(diǎn)：

  排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積

干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內(nèi)的傳輸路徑最短，最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。

  線形密封性佳，泵浦性能

轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的咽合間隙達(dá)到更快的抽氣效果，由于咽合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。

  結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，維修容易

螺旋式真空泵因只需利用一對(duì)轉(zhuǎn)子互相咽合達(dá)到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì)，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時(shí)程，降低維修費(fèi)用。

  微電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全

微電腦操控器提供真空泵浦最簡易的操作方式并能顯示泵浦完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對(duì)泵浦應(yīng)用狀況進(jìn)行調(diào)整，在泵浦產(chǎn)生問題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng),遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場即能查詢泵浦之運(yùn)轉(zhuǎn)狀況